據(jù)常春藤投資消息，近日，安弧科技宣布完成數(shù)千萬元天使輪融資，本輪由常春藤資本領投，長投集團、常見投資跟投。資金將用于靜電卡盤及配套控制器等半導體設備核心零部件研發(fā)，該公司總部已遷往浙江嘉興經(jīng)開區(qū)。

安弧科技專注于半導體制造關鍵部件-靜電卡盤（ESC, E-CHUCK）的研發(fā)與生產(chǎn)。

目前，我國靜電卡盤的研發(fā)制造仍處于起步階段，進口依賴度達95%以上，被日韓美制造商高度壟斷，屬于“卡脖子”關鍵零部件，尤其在半導體制裁加劇的背景下，國產(chǎn)替代需求進一步增強。常春藤投資消息指出，安弧科技致力于打破國外廠商在半導體靜電卡盤領域的長期壟斷，推動國內(nèi)半導體設備核心零部件的國產(chǎn)化進程，提升我國半導體產(chǎn)業(yè)的自主可控能力。

安弧科技創(chuàng)始人兼CEO李瀛龍擁有上海交通大學機械工程與密歇根大學（美國）航空航天工程雙學士學位，聯(lián)合創(chuàng)始人兼COO韓紹庭擁有復旦大學數(shù)學學士學位，二人作為碩士研究生同學共同畢業(yè)于加州大學伯克利分校（美國），畢業(yè)后分別在海外半導體設備研發(fā)與資本市場投融資頭部企業(yè)任職十余年。歸國后，兩人一拍即合決定創(chuàng)業(yè)組建團隊。據(jù)悉，該公司團隊成員畢業(yè)于上海交通大學、復旦大學、加州大學伯克利分校（美國）、特魯瓦科學技術(shù)大學（法國）、東京工業(yè)大學（日本）等國內(nèi)外頂尖高校，曾就職于ASML等知名企業(yè)，在半導體設備零部件領域擁有豐富的研發(fā)實戰(zhàn)經(jīng)驗。

靜電卡盤相較于傳統(tǒng)的機械卡盤與真空卡盤，能有效避免傳統(tǒng)機械卡盤在使用過程中由于壓力、碰撞等機械原因?qū)斐刹豢尚迯偷膿p傷，減少顆粒污染，增大晶片的有效加工面積，同時克服了真空卡盤不可應用于低壓環(huán)境的缺陷。靜電卡盤已經(jīng)取代了傳統(tǒng)的機械卡盤與真空卡盤成為半導體裝備中非常重要的通用零部件。

（來源：常春藤投資）

在靜電卡盤材料選擇上，安弧科技聚焦玻璃基，其工藝選擇多、材料成本低、難度可靈活適配，熱膨脹系數(shù)可調(diào)且有更加優(yōu)異的耐壓表現(xiàn)，在先進制程等領域具有突出優(yōu)勢 。

此外，安弧科技還提供高穩(wěn)定性、低電磁干擾的配套器件，涵蓋傳感、偏壓、熱控等數(shù)字控制和電源模塊，與靜電卡盤產(chǎn)品形成協(xié)同，滿足客戶的多樣化需求。

長投集團表示：本次投資安弧科技，將進一步增強區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈韌性，帶動嘉興市半導體產(chǎn)業(yè)向高技術(shù)、高附加值領域延伸。