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晶瑞電材又購(gòu)得光刻機(jī) KrF光刻膠量產(chǎn)導(dǎo)入已排上日程

2021-12-09 來(lái)源：網(wǎng)絡(luò)整理
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關(guān)鍵詞： 晶瑞電材 光刻機(jī) KrF光刻膠

12月8日，晶瑞電材對(duì)外披露，公司近期已購(gòu)得KrF光刻機(jī)一臺(tái)，可用于KrF光刻膠的曝光測(cè)試，同時(shí)公司KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。此前，晶瑞電材已經(jīng)購(gòu)得用于負(fù)膠、g線、i線、ArF等4臺(tái)光刻機(jī)，再加之此次購(gòu)得的KrF光刻機(jī)，晶瑞電材已經(jīng)到位5臺(tái)光刻機(jī)。

目前，晶瑞電材KrF光刻膠已經(jīng)完成中試，進(jìn)入了客戶測(cè)試驗(yàn)證階段。這意味著，此次晶瑞電材新購(gòu)得深紫外線KrF光刻機(jī)后，可以快速投建其KrF光刻膠產(chǎn)線，加速其KrF光刻膠量產(chǎn)化進(jìn)程，也是其KrF光刻膠量產(chǎn)并導(dǎo)入晶圓廠的最后一步。